| Описание: |
Используя неразрушающую технику рентгеновского излучения, с помощью РМА и РЭМ можно провести количественный анализ состава области массивного образца размером ~ 1 мкм3. При исследовании образцов в виде тонких пленок и срезов органических материалов размер анализируемого объема уменьшается приблизительно в 10 раз от значения для массивных образцов. Для анализа металлов и сплавов обычно используется метод трех поправок. В качестве эталонов можно использовать чистые элементы или сплавы, причем поверхности образцов и эталонов должны тщательно готовиться к анализу и анализироваться в идентичных экспериментальных условиях. Для анализа геологических образцов обычно используется эмпирический метод, или метод а-коэффициентов. Для этого класса объектов вторичная рентгеновская флуоресценция незначительна, и при анализе используются эталоны из окислов элементов с близким к образцу атомным номером. Биологические образцы часто повреждаются бомбардирующим электронным пучком. Важно обеспечить, чтобы эталоны находились в такой же форме в матрице, что и образец. Цель настоящей главы состоит в том, чтобы дать детальное описание различных методов количественного анализа для неорганических, металлических и биологических образцов различного вида: массивных образцов, малых частиц, тонких пленок, срезов и поверхностей излома.
Многие аналитические методы количественного анализа объединены в установках рентгеновского анализа под управлением мини-ЭВМ. Хотя точность анализа состава обычно достаточно высокая, исследователь должен представлять, какие методы он использует и какие у них ограничения. Точность анализа зависит от эталонов и выбора рабочих условий (тока, ускоряющего напряжения, рентгеновской линии и т. д.).
Методы трех поправок, а-коэффициентов и анализа тонких пленок достигли высокой степени развития. Поэтому для каждого метода будут изложены только используемые чаще всего приемы. В процессе изложения выражения приводятся таким образом, чтобы читатель мог сам непосредственно сделать расчеты. Следует отметить, однако, что метод трех поправок все |
