| Описание: |
Годы, прошедшие с момента выхода предыдущего издания данной монографии (имеется перевод: Практическая растровая электронная микроскопия.—М.: Мир, 1978), ознаменовались бурным развитием принципов электронно- и ионно-зондовой аппаратуры и методов исследования. В первую очередь сюда следует отнести создание серийных растровых оже-электронных микроанализаторов, таких, как JAMP-10 (фирма JEOL), установок электронно- и ионно-лучевой литографии, метрологических и технологических растровых электронных микроскопов и т . д. Существенно улучшились параметры приборов. Так, сейчас серийные растровые электронные микроскопы с обычным вольфрамовым термокатодом обладают гарантированным разрешением 50—60 А, модели высшего класса с наиболее высокими характеристиками имеют встроенную мини-ЭВМ, с помощью которой автоматически устанавливается оптимальный режим работы прибора, существенно облегчилось и стало более удобным обращение с прибором. В ряде случаев вместо обычных паромасляных диффузионных насосов для откачки используются турбомолекулярные и ионные насосы, создающие «чистый» вакуум вблизи образца, за счет чего снижается скорость роста пленки углеводородных загрязнений на объекте.
Все это, естественно, привело к более широкому применению электронно-зондовых приборов в различных областях научных исследований, а также к разработке новых, более совершенных методик с применением этих приборов. Армия исследователей пополнилась новыми работниками, использующими или собирающимися использовать эти методы. И в первую очередь им необходимо иметь руководство по возможностям данных методов и по их практическому применению с учетом состояния на сегодняшний день.
Авторы задались целью создать современную монографию по этим вопросам в виде двух томов1'. В первый том они включили только широко используемые стандартные методики и из-
" Первый из которых предлагается читателю и выходит на русском язьр ке в 2-х книгах. — Прим. ред. |
